报告题目：基于自感应悬臂梁探针的AFM系统及其在SEM/FIB等系统的联用 

报告人：安杕 博士（Dr. Ryne An） 

　　　　Quantum Design中国子公司，http://www.qd-china.com  

时间：2019年11月14日（周四） 下午14:00-16:00 

地点：师昌绪楼403会议室 

　　  

报告摘要： 

　　通过传统的光学显微镜、电子显微镜，研究者们可以直观地获取样品的形貌图像信息。而随着对样品微区的三维形貌轮廓、力、热、电、磁等物性信息的高精度定量化表征需求的不断提升，近些年来对于各种物性分析手段与光镜、电镜的联用，越来越受到研究人员的关注。此外，随着FIB、HIM等技术的发展，在微区对材料进行高精度加工的手段日益成熟，与之匹配的定量化物性表征技术则有助于研究人员对材料的微观特性进行更为准确地观察和测量，从而发现各种新奇的现象并揭示其背后的机制。 

　　一直以来，AFM都是定量化表征中不可或缺的设备，尤其是在材料微区的定量化表征当中。有鉴于上述研究需求，将AFM与SEM、FIB等系统联用，成为了近些年的研究人员和设备制造商们共同关注的问题。在诸多潜在的解决方案中，AFSEM^TM是其中的一种，它主要基于自感应悬臂梁技术，不需额外的激光器及四象限探测器，能够方便地将AFM集成到各类光学显微镜、SEM、FIB的腔体中，从而在SEM或FIB系统中实现基于AFM技术的原位探测（AFM、MFM、CFM等），在原位实现对各类新材料（准一维纳米材料、二维原子晶体）及器件的物性的表征。 

  

 

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