所内各部门（课题组）： 

　　国家基金委近期发布了2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“芯片亚纳米级制造前沿探索”项目指南，具体要求如下： 

　　一、资助方向 

　　1.芯片制造过程中的亚纳米级去除新原理与新方法 

　　2.芯片先进制程中的三维亚纳米级结构构筑新原理与新方法 

　　3.第四代半导体材料的亚纳米级制造新原理 

　　4.芯片亚纳米级制造过程中的缺陷检测与修复 

　　二、资助计划 

　　本原创项目资助期限为3年，申请书中研究期限应填写“2024年1月1日－2026年12月31日”。计划资助4-5项，平均资助强度200万/项。 

　　三、申请资格 

　　具有承担基础研究项目（课题）或其他基础研究经历的科学技术人员均可提出申请 

　　四、限项要求 

　　1.申请人同年只能申请1项原创项目（含预申请）。 

　　2.原创项目从预申请开始直到自然科学基金委做出资助与否决定之前，不计入申请和承担总数范围，获资助后计入申请和承担总数范围。 

　　3.应符合《2023年度国家自然科学基金项目指南》中对申请项目数量的限制。 

　　五、注意事项 

　　1.预申请提交时间为2023年11月24日－11月26日16:00时，以国家自然科学基金网络信息系统（以下简称“信息系统”）提交时间为准，在提交时间之外提交的申请将不予受理。 

　　2.申请代码1应当填写工程与材料科学部相应的申请代码（“E”字母开头），申请代码2根据项目研究所涉及的领域自行选择相应学科申请代码。以上选择不准确或未选择的项目申请不予资助。 

　　3.预申请主要阐述所提学术思想的原创性、科学性和潜在影响力，字数控制在2000字以内。另外，申请人还须在“与指南所列研究方向的吻合性”中注明申请针对的本指南所列资助方向名称。申请人按照信息系统中的有关提示填写预申请相关内容后直接提交至自然科学基金委。 

　　请拟申请的老师点击上方文字链接，仔细阅读申请指南，于规定时间内完成线上申报。 

　　联系人：杨　楠　83973102　nyang@imr.ac.cn 

　　　　　　佟百运　23971197　bytong@imr.ac.cn